弹性元件真空计的结构与测量原理

2020-05-06 真空技术网 真空技术网整理

  利(li)用弹(dan)性(xing)(xing)(xing)元(yuan)件在(zai)压(ya)差作用下产(chan)生弹(dan)性(xing)(xing)(xing)变形的(de)原(yuan)理制成的(de)真(zhen)空测(ce)量仪表(biao)称(cheng)为弹(dan)性(xing)(xing)(xing)元(yuan)件真(zhen)空表(biao)。在(zai)结构和外形上与(yu)工业用压(ya)力表(biao)类似,一般用于粗真(zhen)空(102~105Pa)的(de)测(ce)量。根(gen)据变形弹(dan)性(xing)(xing)(xing)元(yuan)件分类,这类真(zhen)空计通常有(you)弹(dan)簧管式、膜盒式和膜片式,其结构如(ru)图3所(suo)示。

弹性元件真空表结构示意图

图(tu)(tu)3:弹性元件真空(kong)表结构示意图(tu)(tu)

  弹性元件真空表性能(neng)稳定,其测量范围一般为102~105Pa,精度有(you)0.5级、1.5级和2.5级数种。

  在工业生产(chan)中有些设备需要既测量(liang)正压(ya)(ya)(高于(yu)一个大气压(ya)(ya)),也要测量(liang)负压(ya)(ya)(低于(yu)一个大气压(ya)(ya),即真空(kong)状态),因此(ci)制(zhi)成的弹性(xing)元件压(ya)(ya)力真空(kong)表(biao),在同一条(tiao)表(biao)盘(pan)刻度(du)上同时刻有正压(ya)(ya)力和真空(kong)度(du)。

  弹性元(yuan)件真空表(biao)的主要特点如下:

  1、测量结果是(shi)气(qi)(qi)体和蒸气(qi)(qi)的全压(ya)力,并与(yu)气(qi)(qi)体种类(lei)、成(cheng)分及其性质(zhi)无关;

  2、测(ce)量过程(cheng)中,仪(yi)表的(de)吸(xi)气(qi)和放气(qi)很小,同时(shi)仪(yi)表内部没有(you)高(gao)温(wen)部件,不会(hui)使油蒸(zheng)气(qi)分解;

  3、测(ce)量精度较高;

  4、反(fan)应速度较快;

  5、结构牢(lao)固,选用(yong)适(shi)当材料能测量腐(fu)蚀(shi)性(xing)气(qi)体;

  6、是绝对真(zhen)空计,0.5级以上的(de)表(biao)可作为标准表(biao)。

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