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半导体工艺中应用干式真空泵的几种选择类型

根据在(zai)机械(xie)结构设(she)计上有明显(xian)差异,因(yin)此可以(yi)将干式真空(kong)泵归(gui)纳为以(yi)

涡旋真空泵动涡旋盘结构的特点

本(ben)文讲(jiang)述了涡(wo)旋真(zhen)空(kong)泵(beng)动(dong)涡(wo)旋盘结(jie)构的特(te)点,主(zhu)要是(shi)单(dan)面动(dong)涡(wo)旋盘与(yu)

  • 往复式真空泵工作原理图

    往(wang)复(fu)式真空泵的(de)主要部件有气缸及在其中做往(wang)复(fu)直线(xian)运动(dong)的(de)活塞(sai),活塞(sai)的(de)驱动(dong)是(shi)用曲(qu)柄连杆机构(gou)来完成的(de)。往(wang)复(fu)式真空泵的(de)主要缺(que)点是(shi)结构(gou)复(fu)杂,体积较(jiao)大,运转时振动(dong)较(jiao)

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  • 旋片式真空泵工作原理演示图

    旋片(pian)泵(beng)主要由泵(beng)体、转子(zi)、旋片(pian)、端盖、弹簧等(deng)组(zu)成,旋片(pian)泵(beng)有(you)单级(ji)和(he)双(shuang)级(ji)两种。所(suo)谓双(shuang)级(ji),就是在(zai)结(jie)构上(shang)将两个单级(ji)泵(beng)串(chuan)联起来。一般多做成双(shuang)级(ji)的,以获得(de)较高的真(zhen)空

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  • 低温冷凝泵的抽气特性

    本文介绍了低(di)(di)温(wen)(wen)冷(leng)凝泵(beng)(beng)(beng)的(de)(de)理论抽速(su)(su)、低(di)(di)温(wen)(wen)冷(leng)凝泵(beng)(beng)(beng)的(de)(de)实际抽速(su)(su)、低(di)(di)温(wen)(wen)冷(leng)凝泵(beng)(beng)(beng)的(de)(de)极(ji)限压强(qiang)、低(di)(di)温(wen)(wen)泵(beng)(beng)(beng)的(de)(de)降温(wen)(wen)时间、低(di)(di)温(wen)(wen)泵(beng)(beng)(beng)的(de)(de)工作寿命等关(guan)于(yu)低(di)(di)温(wen)(wen)泵(beng)(beng)(beng)的(de)(de)抽气特(te)性计算公式。

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  • 低温泵的抽气原理与分类与结构

    利用低(di)温表面上的吸(xi)附(fu)剂和(he)打在(zai)其上的气体分(fen)子发生吸(xi)附(fu)而(er)达到抽(chou)气作用的泵叫(jiao)低(di)温吸(xi)附(fu)泵。根据所(suo)用吸(xi)附(fu)剂不同,又(you)可分(fen)为(wei)三种类型: 非金(jin)属吸(xi)附(fu)剂泵、金(jin)属吸(xi)附(fu)剂泵

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  • 溅射离子泵的抽气特性

    蔀射(she)离(li)(li)子泵(beng)的抽气(qi)特性如溅(jian)射(she)离(li)(li)子泵(beng)的极(ji)限压强、溅(jian)射(she)离(li)(li)子泵(beng)的抽速、溅(jian)射(she)离(li)(li)子泵(beng)在抽除惰性气(qi)体氩不(bu)稳定性、溅(jian)射(she)离(li)(li)子泵(beng)对有机蒸(zheng)气(qi)污染敏感(gan)等等。

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  • 溅射离子泵的结构及其抽气机理

    溅射(she)离子(zi)泵(beng)又称(cheng)潘(pan)宁(ning)(ning)泵(beng),它是(shi)靠潘(pan)宁(ning)(ning)放电维持抽气的(de)(de)一种无油(you)清洁超高真空泵(beng)。是(shi)目前(qian)抽惰(duo)性气体(ti)较好的(de)(de)真空获得设备(bei)。溅射(she)离子(zi)泵(beng)主要(yao)由阳极、阴极、磁场和电源四大部(bu)

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  • 钛升华泵的极限压强与抽速

    钛(tai)升(sheng)华泵的极限压强:可(ke)达10-10Pa。钛(tai)升(sheng)华泵的抽速(su)较大,抽速(su)可(ke)以计(ji)算。

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  • 钛升华泵的主要几种结构

    钛升华(hua)泵(beng)的(de)结(jie)构大致可分为三部分:吸气面、热丝(si)(或升华(hua)器)和(he)控制器。本(ben)文主要讲叙了升华(hua)器的(de)几种类(lei)型结(jie)构。

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  • 钛升华泵的工作原理

    利用加热的方法升(sheng)华钛并使其沉积在一个冷(leng)却的表(biao)面上(shang),对气体进行(xing)薄(bo)膜吸附的抽(chou)气装置,称为钛升(sheng)华泵。

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  • 分子筛吸附泵的抽气特性

    分(fen)子筛吸附泵(beng)的(de)极限压(ya)强:一般(ban)为10-2~10-3Pa,吸附泵(beng)的(de)抽(chou)速计算公式,由此可以看出分(fen)子筛吸附泵(beng)的(de)抽(chou)气特(te)性(xing)。

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  • 分子筛吸附泵的结构及其抽气原理

    分子筛是一种人工合成的沸石(shi),分子筛对气体的吸(xi)附是物(wu)理吸(xi)附,过(guo)程是可逆的。低温下吸(xi)附的气体在温度回升(sheng)时将如(ru)数地释放(fang)出来(lai)。

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  • 气体捕集式真空泵的几种类型

    气(qi)体捕集式真空泵(beng)(beng)是(shi)一种使气(qi)体分子被吸(xi)(xi)附或凝结在泵(beng)(beng)内表面上的真空泵(beng)(beng),可(ke)分吸(xi)(xi)附泵(beng)(beng)、吸(xi)(xi)气(qi)剂(ji)泵(beng)(beng)、吸(xi)(xi)气(qi)剂(ji)离子泵(beng)(beng)、低温泵(beng)(beng)几种类型。

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  • 油增压泵(油扩散喷射泵)的工作原理与结构

    油(you)(you)增压泵(beng)(油(you)(you)扩(kuo)散(san)喷射(she)泵(beng))工(gong)作原理与油(you)(you)扩(kuo)散(san)泵(beng)相似,仍(reng)然是以靠(kao)(kao)工(gong)作射(she)流(liu)来携(xie)带气(qi)体(ti),达(da)到抽(chou)气(qi)目的(de)。不(bu)同点是油(you)(you)增压泵(beng)的(de)射(she)流(liu)主(zhu)要是以靠(kao)(kao)被抽(chou)气(qi)体(ti)与蒸汽射(she)流(liu)之间(jian)的(de)粘滞

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  • 扩散泵的性能计算

    扩散泵的(de)抽(chou)速S的(de)计算(suan)、扩散泵每级最大(da)压(ya)缩比(P2/P1)max的(de)计算(suan)、蒸汽射流流谱的(de)计算(suan)公式和方法(fa)。

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  • 油扩散泵的工作原理与结构

    油(you)扩(kuo)散泵(beng)是靠高速蒸汽射流来(lai)携带气体以达到抽气的(de)目的(de),它工(gong)作(zuo)在高真空(kong)区(qu)域,其工(gong)作(zuo)压强范(fan)围为10-2~10-6pa。本文讲(jiang)述了油(you)扩(kuo)散泵(beng)的(de)工(gong)作(zuo)原理与(yu)结(jie)构。

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