氦质谱检漏仪用于电磁阀检漏、直通阀检漏

2013-03-14 伯东公司 www.hakuto-vacuum.com

  伯东公(gong)司德国(guo)Pfeiffer HLT 560 氦质谱(pu)检漏仪(yi)用于电磁阀阀芯检漏应用案例—深圳某事业有限公(gong)司

一、 电磁阀阀芯检漏原因

  该客户是为日(ri)本(ben)某半导(dao)体(ti)设备(bei)厂生产(chan)精密零(ling)(ling)件(jian)激光焊接(电磁(ci)阀阀芯),一共(gong)有(you)5个(ge)型号,月产(chan)量2000-3000个(ge)阀. 精密零(ling)(ling)件(jian)激光焊接(电磁(ci)阀阀芯)产(chan)品如下图:

 

  由于(yu)半导体(ti)工业(ye)上(shang)用(yong)的气(qi)(qi)体(ti)如硅(gui)烷( SiH4), 氨气(qi)(qi)(NH3)等(deng)等(deng)都是有(you)毒或有(you)腐蚀性的气(qi)(qi)体(ti),所(suo)以对所(suo)用(yong)的阀及相关部件(jian), 漏(lou)率(lv)要求(qiu)非常(chang)严(yan)格, 要求(qiu)成品最终漏(lou)率(lv)低于(yu)5-10 mbar l / s, 而这样的漏(lou)率(lv)要求(qiu)也只(zhi)有(you)氦质谱检漏(lou)仪能(neng)达到了.

二、 电磁阀阀芯检漏方法

  大概(gai)的(de)检(jian)测过程为:来(lai)料用放大镜目视检(jian)测,激光焊(han)接完(wan)成后(hou)(hou)再(zai)目视检(jian)测,最后(hou)(hou)用氦(hai)气(qi)质谱检(jian)漏(lou)仪(yi)做最后(hou)(hou)检(jian)测,漏(lou)率值(zhi)以氦(hai)气(qi)检(jian)漏(lou)仪(yi)测出的(de)数据为准.

  客户以前用的是日(ri)本某(mou)品牌的检漏仪,现在(zai)新上(shang)的项(xiang)目都改为(wei)德国(guo)Pfeiffer的HLT 560这一(yi)款检漏仪,这是因为(wei),只有(you)(you)德国(guo)Pfeiffer的HLT 560能满足这么高(gao)的漏率值测(ce)试,且数据可靠.另外还(hai)具(ju)有(you)(you)操作简(jian)单,生产(chan)效(xiao)率高(gao)的优(you)点.

三、电磁阀阀芯检漏操作说明

氦质谱检漏仪用于电磁阀检漏、直通阀检漏

  1),先将阀接(jie)入工装,形成一个密闭的腔体.再将检漏仪连接(jie)到(dao)工装上.

  2),启动氦质谱检漏仪, 检漏仪开(kai)始抽取密闭腔(qiang)体中的气体,同时显(xian)示(shi)一个漏率(lv)值.

  3),在(zai)激光(guang)焊(han)缝和怀疑有(you)漏的(de)地方喷氦气(qi),同时观察(cha)检漏仪上显示的(de)漏率(lv)值有(you)无变化(hua).

  4),如果漏(lou)率值(zhi)上(shang)升,说明喷氦气的(de)地方有(you)漏(lou),该被检(jian)对象(xiang)质(zhi)量不合格(ge).如果漏(lou)率值(zhi)能达到要求,该被检(jian)对象(xiang)合格(ge),检(jian)漏(lou)检(jian)测完成.

氦质谱检漏仪用于直通阀检漏

一、阀门检漏需求

  阀(fa)门(men)(men)的密(mi)(mi)封性(xing)(xing)能(neng)是(shi)考核阀(fa)门(men)(men)质(zhi)量(liang)优劣(lie)的主要指标之一. 所以在(zai)设计(ji)生产(chan)阀(fa)门(men)(men)时就要提(ti)高(gao)其密(mi)(mi)封性(xing)(xing)能(neng), 并且在(zai)出厂(chang)前(qian)最(zui)后(hou)一道(dao)工(gong)序应对阀(fa)门(men)(men)做密(mi)(mi)封性(xing)(xing)检(jian)测. 目前(qian)国(guo)内(nei)许多阀(fa)门(men)(men)厂(chang)家使(shi)用水(shui)检(jian)法(fa)(fa)和气(qi)压法(fa)(fa)进行气(qi)密(mi)(mi)性(xing)(xing)检(jian)测, 但(dan)是(shi)使(shi)用此方法(fa)(fa)只能(neng)检(jian)到漏(lou)孔(kong)比(bi)较大(da)的情况, 一般最(zui)小可检(jian)漏(lou)率1X10E-3 mbar l/s. 但(dan)随着客户对产(chan)品质(zhi)量(liang)要求(qiu)的不(bu)断提(ti)高(gao), 水(shui)检(jian)法(fa)(fa)和气(qi)压法(fa)(fa)已经无(wu)法(fa)(fa)满(man)足要求(qiu). 为(wei)了保证产(chan)品竞争, 许多厂(chang)家引(yin)进了氦气(qi)检(jian)漏(lou)仪, 对于目前(qian)常(chang)用的检(jian)漏(lou)方法(fa)(fa), 氦气(qi)检(jian)漏(lou)法(fa)(fa)被(bei)公认为(wei)最(zui)先进可靠的方法(fa)(fa)之一.

  而德国Pfeiffer 氦质谱检(jian)漏仪具有体积小、重量轻(qing)、内部模组化设计、检(jian)测维(wei)修方便、使(shi)用简单、一(yi)键式操(cao)作等优点受到广(guang)大客户的青睐.

  上海(hai)阀(fa)特流(liu)体(ti)(ti)主要生产销售(shou)各种(zhong)自(zi)动控制阀(fa)门, 部(bu)门产品(pin)出口到国外(wai). 如下(xia)图所示为该司生产的(de)直通阀(fa), 用于(yu)有毒气体(ti)(ti)设备, 为了作业人(ren)员安全及避免(mian)环(huan)境污染, 客户要求出厂前对阀(fa)门做气密(mi)性检测.

二、阀门检漏方法

  Pfeiffer HLT 系列氦(hai)质谱检(jian)漏(lou)(lou)仪同(tong)时拥有两种检(jian)漏(lou)(lou)模(mo)式(shi), 真(zhen)空模(mo)式(shi) (vacuum mode)及正压(ya)(ya)模(mo)式(shi) (sniffer mode), 可(ke)根据客户不(bu)同(tong)需求, 选择(ze)不(bu)同(tong)的检(jian)漏(lou)(lou)方法. 阀门多采用检(jian)漏(lou)(lou)仪的负压(ya)(ya)模(mo)式(shi)既真(zhen)空模(mo)式(shi)检(jian)漏(lou)(lou), 其(qi)最小可(ke)检(jian)查漏(lou)(lou)率为5X10-12 mbar l/s.

三、阀门检漏操作

  1. 如下图所示, 工作人员用波纹管连(lian)接(jie)待(dai)检测的直通阀与(yu)德国Pfeiffer HLT 560氦质谱(pu)检漏仪(yi).

氦质谱检漏仪用于电磁阀检漏、直通阀检漏

氦质谱检漏仪用于电磁阀检漏、直通阀检漏

  2. 启(qi)动(dong)DUO 旋片泵(beng), 直通阀抽(chou)真空, 同(tong)时(shi)启(qi)动(dong)氦质谱(pu)检漏仪并显示(shi)一个漏率(lv)值. 当旋片泵(beng)抽(chou)真空到达(da)一定真空度(最高背(bei)压(ya)为 25 mbar业(ye)界最高)时(shi), 可以进(jin)行(xing)检漏操作(zuo).

  3. 如下(xia)图工作(zuo)人员(yuan)向(xiang)直通阀密(mi)封处(chu)和怀疑有漏的地方喷氦(hai)气, 同时观(guan)察检(jian)漏仪上显示(shi)的漏率(lv)值有无变化.

氦质谱检漏仪用于电磁阀检漏、直通阀检漏

  4. 如(ru)果漏(lou)率值上升, 说明喷氦气的地方有漏(lou), 该被检对(dui)象质量不合格(ge). 如(ru)果漏(lou)率值能达到要求(qiu), 该被检对(dui)象合格(ge), 检漏(lou)检测(ce)完成.

投稿企业:

  伯东公司 主要经营(ying)产品德国 Pfeiffer 涡轮(lun)分(fen)子泵(beng)(beng), 干式真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng), 罗茨(ci)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng), 旋片(pian)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng); 应用于(yu)各种条(tiao)件下的真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)测量(liang)(真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)计, 真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)规(gui)管);氦质谱检漏仪;质谱分(fen)析仪;真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)系(xi)统以及美国Brooks CTI Cryopump 冷(leng)凝泵(beng)(beng)/低温泵(beng)(beng), HVA 真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)阀门, Polycold 冷(leng)冻机(ji)和(he)美国KRI 离(li)子源,Gamma离(li)子泵(beng)(beng).

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